雷射加工設備(Laser)
• TGV專用訂製型
• 模組化光路密封設計
• 精細長焦深切割頭
• 路徑優化演算法
• 優異圖形處理能力
• 頂級運動控制系統
• 減震模組
• 最大尺寸可達650x650mm
垂直式蝕刻機(Etch)
• 適用TGV通孔蝕刻
• 一站式酸/鹼/超音波清洗
• 酸鹼製程隔離
• 自動斷電藥液回收
• CDS/CDU自動藥水供應
• 最大基板尺寸600x600mm
• 25PCS/次
PVD真空濺鍍設備(SPUTTER)
• 量產效率高(9腔6靶設計)
• 薄膜性能優
• 製程溫度低
• 基材適配性廣(ABF, EMC, PID, Si, SiO2)
• 最大尺寸達600x600mm
• 可依需求訂製